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硅压力传感器的过载保护设计
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《仪表技术与传感器》2010年 第1期 7-8,35页
作者：王徐坚上海威尔泰工业自动化股份有限公司上海201103 
通过测量硅膜片的结构设计和压力传感器外界保护结构设计,实现了压力传感器过载保护的目的。针对差压传感器表现为正负双腔和中心过载保护膜片联动保护的设计方案,即当过载压力达到超高差压之前,使高压侧膜片和基体贴合,低压侧膜片鼓出...
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