摘要：具有解理面的晶圆解理时容易产生晶圆端面损伤,为了降低晶圆解理加工时的损伤,设计一套通过利用晶圆材料特性对晶圆进行解理加工的设备,降低了具有解理面材料晶圆解理加工时的端面损伤,实验结果表明通过该设备对具有解理面的晶圆解理加工可以获得无损伤、光滑的解理面。

摘要：在分析电晕放电激振机理的基础上,基于有限单元法和Newmark积分法建立了输电线路风雨激振有限元分析模型。基于试验和数值分析方法,以输电线型号LGJ-240的相关参数为参考,分别研究了电晕放电离子风的产生及响应、电晕力和风载作用下的瞬态响应和谐响应特性。研究表明,电晕放电对舞动具有显著作用,并在特定输电线结构条件下,易于与外界风载耦合作用引起舞动。分析方法和结论可为多风雨区域的特高压输电线路设计、已有线路升级改造以及振动抑制提供必要参考。

摘要：根据当前国内高等院校机电一体化教学设备存在的问题,提出了一种基于TCP/IP和CAN总线的教学实验平台的实现方法。介绍了柔性平台的设计思想与结构模型,以及平台的硬件组成、客户机软件及仿真系统详细设计。这种具有开放式、模块化、柔性化和网络化的特点机电一体化实验平台具有良好的软、硬件可重构性,真正实现了实验平台的开放性设计和柔性设计,使数控系统实验教学更加灵活。

摘要：根据硅片传输机器人在IT行业的应用特点,针对R-θ二自由度结构的机器人进行了运动学和动力学的分析,根据分析结果,进行结构设计和运动原理的描述,对多自由度机器人设计和研发进行探索。

摘要：根据目前我们进行半导体专用设备中机械结构设计时的主要思维特点,将产品方案的设计方法概括为系统化、结构模块化、基于产品特征知识和智能化四种类型,并总结出这四种方法的特点及其相互间的联系,提出半导体专用设备产品方案设计计算机实现的努力方向和发展前景。

摘要：版库装置是一些半导体设备的必要组件,版库装置的主要功能是:对放置于版库上的版盒进行检测,识别版盒中掩模版的存贮状况;锁定或解锁版盒;将指定版槽定位到版交接位置,从而对指定版槽进行放掩模版或取掩模版操作等。版库软件设计开发的目的就是为了实现上述功能。对版库软件的设计开发过程应用软件工程的方法。

摘要：通常,在半导体设备刚性结构设计中要求零部件有很高的加工制造精度和装配精度,同时易传递振动、热等,并容易引入附加的力和转矩。为降低质量和成本,并提高工作性能,目前在工件台的设计中广泛采用柔性结构设计技术。列举了常见柔性件结构形式,并分析了不同结构形式柔性件的旋转刚度和精度等特性。同时,根据工件台的实际工作状态和性能需求,选取适用的柔性件结构形式,并结合弹性静力学的理论公式,进行工件台中常用柔性件设计和计算。

摘要：光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术,其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究,给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计,通过实验表明了设计符合需求。

摘要：针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计。

摘要：根据掩模传输交换版机械手的功能和性能需求,确定其机构组成,并分别介绍了各个组成的详细结构,并结合各个部分的应用场景,进行可靠性和可维修性的分析和计算。