摘要：运用Abaqus分析软件,限定尾架特定参数,改变另一参数,模拟不同性能参数对尾架调锥性能的影响,从而获得弹簧刚度、圆弧键位移、尾架轴线位移之间相互作用的关系,以及选择不同材料对尾架轴线位移的影响,从而为调锥尾架设计提供一定的理论支持。

摘要：本文设计了一种晶圆测量系统,主要由大理石基座、测量平台、大理石横梁、上测头机构、下测头机构和一对共焦位移传感器等部件组成;对测量平台、上、下测头支架等结构进行了有限元分析和校核,满足设计要求;并进行了样机重复精度测试,测得THK的重复精度±0.3μm、Warp的重复精度±0.2μm、Bow的重复精度±0.2μm、TTV的重复精度±0.5μm,重复精度完全达到实际测量要求。

摘要：蓝宝石晶体在生长的过程中,热场的温度分布是影响晶体产品质量的关键因素,尤其是籽晶部位的温度梯度,合适的籽晶轴径向温度梯度可以保证良好的晶体放肩生长。基于此,该文从机械结构角度入手对单晶炉籽晶温度梯度调节的影响进行了分析,并提出优化单晶炉结构的设计方法。根据优化后的结果,采用籽晶温度梯度调节结构进行长晶实验,实验结果显示,晶体在放肩生长的过程中,界面尖凸可控,可有效防止长晶界面翻转,晶体完整率明显提升,从85%提高到95%。

摘要：基于蓝宝石热交换法(HEM)晶体生长需要对高度、温度、流量、压力多个物理量进行有效控制,从功能实现、系统结构、硬件配置、软件设计等几个方面介绍了整个热交换蓝宝石晶体生长炉自动控制系统,并设计出一种两路双闭环控制单元,有效解决了炉内温度变化和底部热交换管内氦气流量变化对晶体生长速度共同影响的问题。

摘要：文章介绍了采用金刚线切割蓝宝石晶棒设备的工作原理及设计思路,重点分析了金刚线切割的特点、张力控制的方法、同步控制技术,以及设备的主要结构、特点。