限定检索结果

检索条件"机构=上海精泰机电系统工程有限公司"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
视图:
排序:
半导体芯片厂Fab无尘室空调的节能方法设计
收藏 引用
《电子技术(上海)》2023年 第6期52卷 396-397页
作者:王伯圣上海精泰机电系统工程有限公司上海200136 
阐述半导体芯片厂Fab无尘室风量、风压、进出风温度、变频控制、空调水、空间布局的节能设计途径,探讨Fab优化空间布局的节能方法,节能计算和分析。
来源:详细信息评论
集成电路制造中的厂房洁净室暖通设计
收藏 引用
《集成电路应用》2023年 第1期40卷 126-127页
作者:申伏龙上海精泰机电系统工程有限公司上海200136 
阐述暖通系统根据环境因素对机组进行控制。随着洁净室暖通行业的发展,半导体洁净室MAU+FFU+DCC被广泛应用,采用高效机组以及高效风机盘管等高效节能的暖通设备。
来源:详细信息评论
集成电路芯片厂的无尘室空气过滤器选型分析
收藏 引用
《集成电路应用》2023年 第6期40卷 60-61页
作者:王伯圣上海精泰机电系统工程有限公司上海200136 
阐述集成电路芯片厂Fab无尘室空气含尘浓度、风量、大气含尘浓度、换气次数、过滤器效率参数,验证空气过滤器选型与洁净度等级的要求。探讨芯片厂化学过滤器选型设计指标的经验分享分析。
来源:详细信息评论
聚类工具 回到顶部