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六氟化硫气体探测用10.56μm窄带滤光片的研制: 收藏
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引用; 《光学仪器》2021年第6期43卷 46-51页; 作者：何虎许晴张杰于海洋上海翼捷工业安全设备股份有限公司研发中心上海201114; 在六氟化硫气体检测中经常会使用红外气体传感器,红外滤光片是红外气体传感器的核心元件。对六氟化硫的红外气体探测中,研制性价比较高的10.56μm窄带滤光片尤其重要。首先,通过测量空气和六氟化硫气体的红外吸收光谱,明确了基于NDIR技...; 在六氟化硫气体检测中经常会使用红外气体传感器,红外滤光片是红外气体传感器的核心元件。对六氟化硫的红外气体探测中,研制性价比较高的10.56μm窄带滤光片尤其重要。首先,通过测量空气和六氟化硫气体的红外吸收光谱,明确了基于NDIR技术的红外传感器需要的滤光片的光谱指标。然后,使用单晶硅为基底,锗和硫化锌为高、低折射率材料,设计了窄带膜系和截止膜系两种膜系结构。通过选择合理的工艺参数,镀制了中心波长为10.562μm、带宽为175 nm、峰值透射率为80.2%、截止范围为2~18μm(除通带)的红外滤光片。最后,经环境测试和传感器测试,证明该滤光片满足使用要求。; 来源：详细信息评论

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