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一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计: 收藏
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引用; 《光学技术》2021年第2期47卷 163-166页; 作者：曹卫卫孙逊安双新武斌谢廷安上海航天控制技术研究所光学导航与探测事业部上海201109 上海航天控制技术研究所飞行控制技术部上海201109; 为了满足OLED屏疵病检测的成像需求,设计了一种高解析度线阵扫描镜头。光学系统基于双高斯对称结构,镜头焦距f′=116mm、放大倍率β=-0.5^(×)、物方数值孔径NA=0.038、物方线视场2y=120mm。利用光学设计软件Zemax仿真可得镜头的调...; 为了满足OLED屏疵病检测的成像需求,设计了一种高解析度线阵扫描镜头。光学系统基于双高斯对称结构,镜头焦距f′=116mm、放大倍率β=-0.5^(×)、物方数值孔径NA=0.038、物方线视场2y=120mm。利用光学设计软件Zemax仿真可得镜头的调制传递函数MTF在奈奎斯特频率120lp/mm时能达到0.2以上,接近衍射极限;各视场点列图基本都在艾里斑之内,均方根半径较小;利用双高斯的对称特性降低畸变,相对畸变q<0.5%。针对景深和曝光量可调的成像需求,即F#的切换需求,以及光学元件的尺寸排布,给出了光阑孔径可变的镜头光机结构设计。最终利用MTF测试仪对镜头的成像质量进行检测,实验结果表明此镜头能够满足OLED屏疵病检测功能的工业成像需求。; 来源：详细信息评论

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