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等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究
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《真空科学与技术学报》2021年 第6期41卷 566-570页
作者:林晶 于贵文 孙智慧 张莉 巩雪 钱锋哈尔滨商业大学包装科学与工程技术实验室哈尔滨150028 东莞市德派精密机械有限公司东莞523007 
高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出...
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