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基于约瑟夫逊效应的高g值高分辨率加速度计的设计与仿真
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《中北大学学报（自然科学版）》2017年 第3期38卷 341-347页
作者：段宏伟 郑文山西职业技术学院自动化系山西太原030006 中国人民解放军驻247厂军代室山西太原030009 
针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点,设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计,其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬臂梁质量块结构,在悬臂梁根部附近布置压敏电阻,可将加速度输...
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