摘要：介绍了一种采用高速双极工艺研制的超高速宽带运算放大器电路。运算放大器内部采用高速电流反馈结构进行信号传输和放大,通过带宽提升、电压/电流信号转换以及稳定性补偿等设计技术,获得了要求的速度和带宽。研究了高速宽带运放性能的影响因素,并结合高速双极工艺进行了电路仿真设计和流片制作。测试结果表明:在±5 V电源电压下,运算放大器的电源电流≤6 mA,-3 dB带宽≥500 MHz,转换速率≥1 500 V/μs。

摘要：针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。