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检索条件"机构=中国石油天然气集团公司辽河油田欢喜岭采油厂"
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牺牲层结构压力传感器技术
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《沈阳工业大学学报》2009年 第5期31卷 587-590页
作者：揣荣岩 郑雁公 刘本伟 王文东 崔林 李新沈阳工业大学信息科学与工程学院沈阳110870 中国石油天然气集团公司辽河油田欢喜岭采油厂辽宁盘锦124114 
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析,给出了传感器...
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