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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室"
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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制
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《华东师范大学学报（自然科学版）》2004年 第1期 49-55页
作者：郭方敏 朱守正 魏华征 郑莹 朱荣锦 忻佩胜 朱自强 赖宗声 杨根庆 陆卫华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室 华东师范大学信息科学技术学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海技术物理所 
MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布...
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