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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室"
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基于微转印技术的金刚石上硅材料制备与表征
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《半导体技术2024年 第9期49卷 813-817页
作者:刘玉 高定成 薛忠营 常永伟中国科学技术大学微电子学院合肥230026 中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室上海200050 
硅基电子器件在高温、高功率、射频领域应用时面临热管理的挑战。为解决其散热和射频损耗问题,采用微转印技术在常温常压下将单晶硅薄膜转移至金刚石衬底上,制备出新型集成电路材料——金刚石上硅(SOD)。实验结果表明,转移的单晶硅薄膜...
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基于狄拉克半金属超表面的太赫兹调制技术研究
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《功能材料与器件学报》2024年 第2期30卷 84-88页
作者:杨祉烜 王长 谭智勇 曹俊诚上海科技大学信息学院上海201210 中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室上海200050 
本文设计了一种非对称双开口环超表面结构的狄拉克半金属太赫兹谐振器,并研究分析了结构参数与费米能级对共振幅度的影响。研究结果表明,随着对称缺损程度的增加,谐振器的共振峰逐渐红移,共振幅度呈现先增加再减少的趋势。随着狄拉克半...
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垂直GaN-SBD的场限环-场板复合终端结构设计
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《功能材料与器件学报》2024年 第5期30卷 233-238页
作者:张峻 郑理 沈玲燕 周学通 苏杭 程新红集成电路材料全国重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院大学北京101408 
垂直GaN-SBD需要采用终端结构缓解阳极边缘电场集中现象,进而提高击穿电压。场限环终端结构可有效实现上述功能,但消耗的芯片面积较大,降低了一定面积晶圆上器件的数量。针对这一问题提出了场限环-场板复合终端结构,利用场板分散场限环...
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