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检索条件"机构=中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室"
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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体
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《物理学报》2007年 第2期56卷 916-921页
作者:许兴胜 熊志刚 金爱子 陈弘达 张道中中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室北京100083 中国科学院物理研究所北京100080 
介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制...
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高纯半绝缘SiC材料上缺陷的发光特性的研究
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光电子.激光》2020年 第1期31卷 1-7页
作者:林必波 靳思玥 秦璐 任杰 许兴胜中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室北京100086 中国科学院大学材料科学与光电工程中心 
我们研究了采用电子辐照方法在高纯半绝缘4H-SiC材料表面上制备缺陷,获得了近似单个缺陷的发光特性。我们证明了碳化硅晶片上的缺陷的发光位于材料表面,而非材料内部。通过采用532nm激光泵浦碳化硅的表面,我们得到了一条波长在可见光范...
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