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检索条件"机构=中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点研究室"
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基于机器学习的光刻坏点检测研究进展
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《微纳电子技术》2019年 第6期56卷 421-428,434页
作者：盖天洋 粟雅娟 陈颖 韦亚一中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点研究室北京100029 中国科学院大学北京100049 
基于机器学习的坏点检测技术已经成为光刻坏点检测的重要研究方向,在新技术节点开发与物理设计验证中具有重要意义。按照基于机器学习的光刻坏点检测技术的流程,依次介绍了特征提取、机器学习模型建模和待测样本提取等步骤中面临的问题...
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