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高均匀长工作深度激光整形系统设计: 收藏
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引用; 《光电工程》2014年第8期41卷 80-84页; 作者：余金清尹韶云殷智勇董小春孙秀辉苟健杜春雷中国科学院成都光电技术研究所微纳加工实验室成都610209 中国科学院重庆绿色智能技术研究所微纳制造与系统集成中心重庆401122 军械工程学院电子与光学工程系石家庄050003; 高功率固体激光器对入射的泵浦光具有严格的均匀性和工作深度要求。本文通过将微透镜阵列与长焦深菲涅尔透镜结合,对半导体激光器阵列光束进行整形,获得在长工作深度范围内的均匀光斑。本文针对dilas E15Y-808.3-1260C半导体激光器阵列...; 高功率固体激光器对入射的泵浦光具有严格的均匀性和工作深度要求。本文通过将微透镜阵列与长焦深菲涅尔透镜结合,对半导体激光器阵列光束进行整形,获得在长工作深度范围内的均匀光斑。本文针对dilas E15Y-808.3-1260C半导体激光器阵列设计了目标光斑大小为4 mm×4 mm的三维激光整形系统。仿真结果表明,该光束整形系统与传统的多通道光束积分整形系统相比,在光斑尺寸与均匀性保持不变的情况下,工作深度增加了2倍。; 来源：详细信息评论

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