摘要：并行集束型半导体装备的性能分析和产能预测是一项非常困难的任务,建立装备性能模型是解决这一问题的有效方法之一。首先用时序图描述了集束型半导体装备加工腔体和机械手在稳态阶段的使用情况,根据建立的时序图,推导出装备稳态时加工约束与传输约束的边界条件。然后,分别给出了不同约束条件下装备的稳态加工过程时序图,并推导出了装备的吞吐量模型。该模型反映了并行集束型半导体装备配置参数对吞吐量的影响,利用该模型可以高效地计算装备吞吐量、辅助系统设计。最后,进行仿真实验,分析了处理时间对装备吞吐量的影响。

摘要：纳米位置控制系统由于其控制精度达到纳米级,因此合理选择数字滤波器类型,正确设计数字滤波器算法是保证纳米控制系统定位精度的重要因素,但现有用于纳米位置控制系统的噪声滤波器采用传统的带阻滤波器,其参数固定。一旦纳米位置控制系统发生移动或者改变负载,噪声特性将随之发生变化,因此,常规定常数的滤波器难以有效滤除系统噪声。针对该问题,采用文化算法和案例推理技术,提出了纳米位置控制系统带阻滤波器参数自适应整定方法。实验结果证明提出的数字带阻滤波器的能够有效滤除纳米位置控制系统中的系统机械结构噪声,有效保证了系统的稳定性。