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检索条件"机构=中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室"
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低轴间耦合的MEMS三维电场传感器
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电子与信息报》2018年 第8期40卷 1934-1940页
作者:凌必赟 彭春荣 任仁 储昭志 张洲威 雷虎成 夏善红中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 
轴间耦合干扰是影响3维电场传感器测量准确性的重要因素。该文提出了一种低耦合干扰的MEMS 1维电场敏感芯片,并将3个上述的芯片正交组合研制出一款低轴间耦合的MEMS 3维电场传感器。不同于已见报道的测量垂直方向电场分量的MEMS 1维电...
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SOI微型电场传感器的设计与测试
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电子与信息报》2011年 第11期33卷 2771-2774页
作者:杨鹏飞 彭春荣 张海岩 刘世国 夏善红中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100039 
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步...
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一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器
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电子与信息报》2016年 第6期38卷 1536-1540页
作者:杨鹏飞 陈博 闻小龙 彭春荣 夏善红 郝一龙北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871 中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 清华大学微电子学研究所北京100084 
该文基于MEMS电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号...
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压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备
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科学技术与工程》2015年 第8期35卷 90-94页
作者:冯可 佟建华 王宇 方东明 夏善红中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100039 
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同...
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光声光谱信号的检测与处理
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《仪表技术传感器2010年 第9期 68-70,77页
作者:赵俊娟 赵湛 耿道渠 杜利东 吴少华中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100039 
针对微型光声光谱气体检测实验中背景噪声严重,微音器信号无法被准确提取的问题,借助计算机及其声卡设计了PAS传感器信号检测系统。首先,分析实验中锁相放大技术的基本原理,提出利用虚拟仪器技术实现光声信号检测的方法;通过分析实验中...
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毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真
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《微纳电子技术2006年 第5期43卷 228-232,250页
作者:吕曜 夏善红 刘梅 张建刚中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100080 
介绍了毛细作用驱动的MEMS流体微器件自组装技术研究和发展概况,并对组装中的自对准过程进行了模拟仿真。通过仿真模拟,证明即使在器件与衬底组装区域形状大小不同时,仍可能实现自对准。这说明自组装对组装器件和衬底粘合层的形状尺...
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多组分气体激光光声检测腔的设计
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《仪表技术传感器2013年 第10期 42-43,64页
作者:赵俊娟 李贤徽 赵湛 盖晓玲 刘彦琦北京市环境噪声与振动重点实验室北京市劳动保护科学研究所北京100054 中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 
针对多组分气体的光声检测理论进行了研究,提出多组分气体检测腔的2种不同设计方法,分别是多腔检测法与单腔检测法,总结给出2种结构腔的优势与不足。在所选光源无交叉吸收和调制频率无重合的条件下,采用单腔多频率锁相法进行混合气体光...
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MEMS结构的带电作业电场测量预警系统
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传感器与微系统》2017年 第4期36卷 111-113,120页
作者:顾植彬 杨鹏飞 彭春荣 夏善红中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100190 
基于高性能的微机电系统(MEMS)敏感结构芯片研制了一种新型带电作业电场测量预警系统,通过实时检测电场大小,当超出电场安全阈值发出预警信号,提醒作业人员采取相应的安全措施。基于相敏检测原理,设计了一种可抑制背景噪声的快速模拟解...
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高精度硅压阻式气压传感器系统设计
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传感器与微系统》2017年 第4期36卷 97-99页
作者:周晓宇 张萌颖 杜利东 赵湛中国科学院电子学研究所传感器技术联合国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100080 
为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下...
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基于高速解调电路的新型手持式工频电场检测系统
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传感器与微系统》2018年 第1期37卷 114-116,123页
作者:唐立军 顾植彬 彭春荣 李维云南电网公司电力科学研究院云南昆明650217 中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100190 
基于高性能的微机电系统(MEMS)电场敏感芯片进行工频电场检测,设计了前置放大电路对芯片输出的微弱信号进行二级放大;基于相敏检测原理,设计了一种可抑制背景干扰噪声的模拟解调电路,提高了系统的响应速度;基于ARM微控制器实现了信号的...
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