摘要：空间调制干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪是一种有重要的研究和应用价值的空间遥感器。本文就在研的三角共路型干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪原理样机的情况进行了介绍 ,并依据应用要求和建立的信噪比方程设计了原理样机的具体参数。该样机的设计性能达到和超过了预先提出的技术指标。用该样机的具体参数进行的信噪比计算及计算机仿真模拟计算也表明 ,本装置及其参数能够在可见和近红外谱段以较高的光谱分辨力满足探测要求。

摘要：针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。