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砷烷的纯化技术研究进展: 收藏
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引用; 《低温与特气》2022年第3期40卷 9-13页; 作者：刘英杰景显东赵健常琳王雅婷中昊光明化工研究设计院有限公司《低温与特气》期刊辽宁大连116031 中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031; 砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、GaAs、GaAsP生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。; 砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、GaAs、GaAsP生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。; 来源：详细信息评论

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