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限定检索结果

标题
作者

文献类型

  • 2篇期刊文献

馆藏范围

  • 2篇电子文献

日期分布

　

学科分类号

  • 2篇工学

主题

  • 2篇原子光刻
  • 1篇透镜像差
  • 1篇原子光学
  • 1篇柯拉照明
  • 1篇显微观察装置
  • 1篇聚焦原子束
  • 1篇驻波透镜
  • 1篇显微系统
  • 1篇纳米图形
  • 1篇ccd

机构

  • 2篇中科院光电技...

作者

  • 2篇陈旭南
  • 2篇陈献忠
  • 2篇李展
  • 2篇陈元培
  • 1篇高洪涛

语言

  • 2篇中文
检索条件"机构=中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室"
共 2 条 记 录，以下是1-10 订阅
高真空光刻样品CCD显微观察装置
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引用
《光学仪器》2003年 第4期25卷 73-76页
作者：陈元培 陈旭南 李展 高洪涛 陈献忠中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 
介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理。针对具体的实验系统 ,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的 CCD显微观察装置 ,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息。与...
来源：详细信息评论
驻波透镜聚焦原子束制作纳米图形研究
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引用
《微纳电子技术》2003年 第7期40卷 546-549,556页
作者：陈元培 陈旭南 李展 陈献忠中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 
介绍了将激光驻波聚焦原子束技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性及像差 ,数值结果显示原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
来源：详细信息评论
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