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检索条件"机构=中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室"
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应用于流动控制的MEMS传感器和执行器
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《电子工业专用设备》2006年 第1期35卷 25-27,62页
作者：欧毅 白宏磊 石莎莉 焦斌斌 李超波 黄钦文 董立军 景玉鹏 陈大鹏 叶甜春 申功中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室北京100029 北京航空航天大学流体力学研究所北京100083 
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技...
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