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检索条件"机构=中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心"
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卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制
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《真空》2007年 第4期44卷 33-35页
作者：魏海波 孙清 张君薇 池世春辽宁装备制造职业技术学院辽宁沈阳110164 沈阳药科大学高等职业技术学院辽宁沈阳110026 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心辽宁沈阳110016 
本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜。
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海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制
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《真空》2006年 第5期43卷 53-55页
作者：孙清 魏海波 池世春 栾居里沈阳药科大学高等职业技术学院辽宁沈阳110026 沈阳新北方玻璃有限公司辽宁沈阳110136 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心辽宁沈阳110016 沈阳职业技术学院辽宁沈阳110045 
根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。
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