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CCD/EMCCD光电参数测试系统的设计与应用: 收藏
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引用; 《中国光学（中英文）》2024年第3期17卷 693-703页; 作者：沈吉 VIACHESLAV V.Zabudsky 常维静那启跃简云飞 OLEG V.Rikhalsky OLEKSANDR G.Golenkov VOLODYMYR P.Reva华东光电集成器件研究所江苏苏州215263 乌克兰科学院V.E.Lashkaryov半导体物理研究所乌克兰基辅01001 乌克兰科学院Bogomoletz生理学研究所乌克兰基辅01001; 本文开发了一种用于测量CCD和EMCCD(电子倍增CCD)芯片光电参数的测试系统。该测试系统通过自动模式或手动模式间的切换,测量器件的暗电流、读出放大器的响应度、电荷转移效率、电荷容量和其他参数。该测试系统可以针对不同规格和结构的C...; 本文开发了一种用于测量CCD和EMCCD(电子倍增CCD)芯片光电参数的测试系统。该测试系统通过自动模式或手动模式间的切换,测量器件的暗电流、读出放大器的响应度、电荷转移效率、电荷容量和其他参数。该测试系统可以针对不同规格和结构的CCD/EMCCD器件,实现CCD晶圆或封装好的成品的参数测试,实现576×288、640×512、768×576、1024×1024、1280×1024 CCD/EMCCD的测试和筛选。; 来源：详细信息评论

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