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检索条件"机构=信息产业部电子第48研究所"

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亚微米电子束曝光机镜筒光路与结构: 收藏
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引用; 《微细加工技术》2000年第4期 9-13页; 作者：刘求益信息产业部电子第48研究所长沙410111; 介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计 ,该电子光学系统采用透镜内偏转设计 ,系统象差小 ,偏转灵敏度高 ,工件面上电流密度大。通过调试和使用 ,电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。; 介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计 ,该电子光学系统采用透镜内偏转设计 ,系统象差小 ,偏转灵敏度高 ,工件面上电流密度大。通过调试和使用 ,电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。; 来源：详细信息评论

液相外延系统中高指标热场的实现: 收藏
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引用; 《微细加工技术》2000年第3期 70-74页; 作者：袁章其罗卫国蒲勇信息产业部电子第48研究所长沙410111; 高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。; 高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。; 来源：详细信息评论

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