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检索条件"机构=六二五所三室传感器组"
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单晶硅微压传感器的研制
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《航空学报》1979年 第4期9卷 104-112页
风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨...
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