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检索条件"机构=加拿大McMaster大学工程物理系"
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基于SOI的光波导和V形槽集成器件
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《光通信研究》2003年 第4期 55-57,60页
作者：程振杰 彭治林加拿大McMaster大学工程物理系 
文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件。设计了5μm×5μm的单模光波导,并用APSS软件进行了光场模式分析;利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;最后,利用紫外光敏胶将波导和光纤固定。
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