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真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用
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物理实验2011年 第1期31卷 28-30,33页
作者:朱亚彬 魏敏建 何帆 刘依真 王保军 陈志杰北京交通大学理学院物理实验中心北京100044 
设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.
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