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软磁材料退火用快速冷却氢气炉的设计
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《金属热处理》2017年 第8期42卷 218-222页
作者:舒立杰 林帅 魏智才北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
在满足坡莫合金热处理工艺的前提下,根据热平衡原理,对双工位氢气保护炉的快冷速率进行分析与计算。在此基础上对快冷系统的热交换器、快冷风机、风道等关键部件进行结构设计,采用先进的内循环降温系统,同时,将该快冷设计理念应用到实...
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配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析
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《人工晶体学报》2022年 第4期51卷 594-599,605页
作者:黄鸣 王维北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
光伏产业的发展使得对硅材料的需求日益增加,同时硅单晶生产行业竞争也日趋激烈。作为生产硅单晶的重要装备,单晶炉的稳定性和可靠性关系到硅单晶生产效率的提升和成本的下降,因此其驱动系统的设计和优化成为装备制造的关键环节。本文以...
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CT球管阳极靶盘循环加热除气装置研制
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真空科学与技术学报》2020年 第11期40卷 1085-1089页
作者:边悦 邱添 蕫银杏北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
针对CT球管阳极靶盘生产企业现有靶盘加热除气设备效率低下的问题,北方真空技术有限公司设计了CT球管阳极靶盘循环加热除气装置。该装置配有四个相同的石英钟罩工位,各工位共享一套分子泵高真空系统,并且改进了装载工具的结构以增...
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改进型单晶炉提拉系统偏心平衡研究
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《人工晶体学报》2021年 第9期50卷 1774-1779页
作者:王维 黄鸣 常晓鱼 张昊 吴奇 龙连春北京北方华创真空技术有限公司北京100015 北京工业大学材料与制造学部北京100124 
随着光伏行业的快速发展,对硅单晶的品质和长晶装备的稳定性的要求也不断提高。直拉法是生产硅单晶的主要方法,通过提高单晶炉副室的高度以扩大单晶硅的生产规模。由于副室高度的大幅增加,且单晶炉提拉头质心相对于旋转轴心有一定距离,...
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基于西门子SINUMERIK 840Dsl的MCD虚拟调试方法研究
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《装备制造技术2022年 第7期 55-59页
作者:孙立鹏 裴佳桐 程铭 田绍轩北方华创真空技术有限公司北京100015 
五轴数控机床是加工复杂曲面工件的最重要工具之一。在工业中,复杂曲面工件的加工轨迹被工业软件分解为一系列空间直线和空间圆弧,通过相应的机床后置处理生成适合本机床结构的数控代码,最后在数控系统中进行插补处理并带动机床进行切削...
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压氦及氦检漏装置控制系统的设计与应用
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《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术2023年 第12期 1-5页
作者:孟丽红 王辉 刘双林北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
压氦及氦检漏装置生产线是专为中核集团研制,主要用于组件制造过程中对焊接元器件进行密封性检测。该装置的控制系统采用西门子公司的S7-1500系列PLC,监控系统采用紫金桥监控组态软件,实现了工件压氦及氦检漏自动测试流程。在测试过程中...
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动态磁场矩形平面磁控靶开发
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真空2023年 第5期60卷 47-50页
作者:刘文丽 刘旭 尹翔北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
针对矩形磁控溅射靶使用过程中靶材利用率较低的问题,北京北方华创真空技术有限公司设计生产了磁铁组件可水平垂直移动的动态磁场矩形平面磁控靶。设备通过电机带动磁铁组件沿靶材宽度方向扫描,使刻蚀跑道在靶面宽度方向拓展,增大靶面...
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卷绕蒸镀设备偏置线圈设计及参数分析
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真空2024年 第2期61卷 16-21页
作者:尹翔 陈世斌 张艳鹏 刘旭 龙连春北京北方华创真空技术有限公司北京100015 北京工业大学北京100124 
在卷绕蒸镀设备生产过程中,电子束引起的较高能二次电子会影响复合集流体的质量。较高能二次电子的发射率与电子束的入射角在一定范围内成正比,因此利用额外磁场可以使电子束轨迹发生偏置,从而减小入射角。本文依靠仿真软件及CAD建模技...
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应急通风的分类与应用
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《机电工程技术2022年 第2期51卷 158-161页
作者:朱振师 修艳洋北京京东方技术开发有限公司北京100176 北京北方华创真空技术有限公司北京100176 
针对建筑工程设计和建设过程中事故状态排风存在定义、形式和概念的歧义和混淆的问题,通过诸多通风技术规范相关概念的集合、分析和汇总,提出应急通风的定义,从设置目的、主从关系和启动时序等方面进行分类说明,总结3个主要的应急通风...
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