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不同缓冲气体中ArF准分子激光系统放电特性分析
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《物理学报》2020年 第17期69卷 127-134页
作者:王倩 赵江山 范元媛 郭馨 周翊中国科学院微电子研究所北京100094 北京市准分子激光工程技术中心北京100094 中国科学院大学北京100049 应用光学国家重点实验室长春130033 
为深入理解挖掘ArF准分子激光系统运转机制,进而获得ArF准分子激光系统设计优化的理论及方向性指导,文章基于流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要研究对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,分析了不...
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