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离子注入机用吸极电源的设计
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电子工业专用设备》2022年 第3期51卷 48-51,60页
作者:金则军北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司湖南长沙410000 
介绍了离子注入机用的最大电压为100 kV、引出电流为24 mA的吸极电源设计。由于吸极电源的电压非常高,电源的尺寸应尽量小;而且吸极电源的高压输出线要采用插拔方式,并对吸极电源的绝缘提出了非常高要求。为此,提出了一种双层的倍压结...
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混合扫描式旋转靶离子注入机剂量控制系统
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电子工业专用设备》2023年 第5期52卷 22-25,45页
作者:曹华翔 彭立波 王迪平 罗南安 徐松 罗才旺北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司湖南长沙410014 
为了进一步提升旋转靶离子注入机的设备产能,提出了一种基于混合扫描式旋转靶离子注入机剂量控制系统;论述了该旋转靶离子注入机剂量控制系统设计思路、工作原理及控制离子束按设定的剂量精确均匀地注入到晶片表面的实现方法。介绍了该...
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离子注入机用层叠开放式加速电源的研制
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电子工业专用设备》2021年 第6期50卷 12-15页
作者:金则军 刘玉军 于亮 申晓景北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司湖南长沙410000 
介绍了一种离子注入机用、最高电压达到350 kV的层叠开放式加速电源的研制方法。通过将倍压部分设计为层叠开放式、高集成化的倍压筒结构,实现了倍压筒的长期可靠性和绝缘性能,提升了高压电源的电压等级和整体性能。
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基于Opera-3D软件的碳化硅离子注入机光路设计与仿真
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电子工业专用设备》2023年 第4期52卷 25-30页
作者:颜秀文 孙勇 彭立波 刘圣 阳王东 唐卓中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 湖南大学信息科学与工程学院湖南长沙410082 北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司湖南长沙410111 
碳化硅(SiC)离子注入机是碳化硅半导体器件制造的核心装备,其光路设计与仿真是碳化硅离子注入整机研发的关键核心技术。利用Opera-3D软件研究了B^(+)在不同注入能量下经加速、聚焦到靶室的传输包络图和束流截面形状,模拟仿真了B^(+)通...
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