摘要：提出了一种用MEMS工艺制作的新型的柔性曲面复眼探测器模型，它具有如昆虫复眼一样的曲面多孔径结构，体积小巧，探测视场大，探测灵敏度高，而且可以合并几个探测器而实现360。全视场探测，它具有对物体角运动十分敏感的特点，能简单而精确地探测出物体的角坐标方位和角运动速度。文中阐述了这种探测器的成像原理，探测器中的晶锥能起到限制杂散光和斜入射光的重要作用，从而使各个微透镜成像互补而不重叠，互不干扰，使系统实现镶嵌成像。并用光学设计软件ZEMAX设计出探测器模型，通过对多个角度的平行入射光成像效果验证了晶锥限制杂散光和斜入射光的重要作用。

摘要：MEMS器件的封装一直是MEMS技术的难点之一 ,在封装设计中 ,如何测试封装的有效性就显得尤为重要。本文叙述了一种基于MEMS技术的微型湿度传感器的原理、设计以及工艺流程。在其上进行气密性封装 ,则可通过对封装内的湿度测量来判断该封装的气密性能。在设计中 ,充分考虑了尺寸、工艺以及灵敏度等各方面要求。制作采用的是传统的光刻、刻蚀工艺。该湿度传感器结构简单 ,易于制作 。

摘要：设计了 5 0 0× 5 0 0个微加热器阵列 ,加热线条宽度分别为 5 μm ,7μm ,9μm。采用离子束溅射、光刻、湿法腐蚀等工艺 ,在Si衬底上制作了微加热器 ,加热层材料为Ni/Cr ,Au ,厚度分别为4 0 0nm ,2 0 0nm。采用直流电源对加热器进行供电 ,在红外热像仪下观察 ,随着电压、电流的增加 ,加热区温度上升很明显。测试结果表明 ,该加热器可以用于 (MEMS)