摘要：研究了一种有较强抗干扰能力的永磁铁嵌入式磁栅,读磁磁头应用霍尔传感器,结构设计简单.磁尺产生的正弦信号和余弦信号经过高频调幅、滤波、求和后得到和磁尺速度有关的调频信号,此信号的周期与基准信号的周期之差可以换算为磁尺移动的瞬时速度.对磁尺移动瞬时速度在时间t内积分,得到磁尺的位移.对速度的积分可由单片机计数器对调频信号与基准信号周期进行脉冲计数,两个计数值的差值累加的方法实现,这种方法可实现信号100细分.磁尺位移值由LED实时显示.经实验验证,磁尺的精度可以达到±0.1 mm.

摘要：Nomarski棱镜广泛应用于微计量检测系统,其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的偏振光,从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中,系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的结构参数来决定。本文根据相干平面与系统物镜焦面重合的准则,建立了棱镜各参数间的关系模型。在分析Nomarski棱镜各参数关系基础上,利用计算机模拟了棱镜各参数的优化设计,绘制了相应参数间的关系曲线,为棱镜的设计提供了理论依据。

摘要：应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构—音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题。

摘要：为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台。位移系统在X、Y、Z3个方向采用粗、精两级驱动,并分别装有计量光栅。各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和直线导轨进行,精驱动采用压电陶瓷微位移器配合柔性铰链进行,每个方向的两级驱动共用一套计量光栅,从而保证了位移系统的大行程、纳米级和计量型。介绍了位移系统的结构设计,分析了位移系统的位移分辨率、计量原理以及它的运动性能。实验表明,在40mm位移行程内,X、Y和Z向工作台两级驱动实际位移与设定位移之差分别不超过±0.030、±0.028和±0.033μm,验证了位移系统设计的有效性,为位移系统的设计提供了依据。

摘要：结合虚拟仪器和电容式传感器测量技术,设计了一种虚拟电容式传感器检测系统。介绍了该系统的各个组成部分,包括电容式传感器的结构设计、检测电路的参数设置、在LabVIEW开发环境下虚拟仪器平台的构建等。最后,将系统应用于金属位移及膏布药层厚度的检测,给出了实验方案,取到了令人满意的效果。

摘要：MOTIF合并算法本质上是一种递归算法,因此给程序的设计带来了一定的复杂性。文中详细分析了MOTIF合并算法的设计要点,给出了算法的伪代码,并通过具体的实例来演示了算法的评定结果。

摘要：根据油管螺纹区的结构特点建立了相应的分离式漏磁检测模型。利用电磁场有限元分析方法对油管螺纹区漏磁检测模型进行计算,分析了模型的磁场分布规律和特点,对每个检测模型中的各项参数进行了计算和优化设计,其结果对油管螺纹检测传感器的结构设计和后续信号处理有一定的参考价值。

摘要：设计了一种测量微位移的光纤位移传感器 ,得到了传感器的位移 -相位变化关系 ,通过相位检出 ,获得了微位移量。分析表明 。

摘要：提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结构:粗定位部分由磁悬浮平面直线电机驱动,细定位部分采用弹性铰支结构并由压电陶瓷驱动;通过分别对电机和压电陶瓷驱动范围与定位精度的分析,提出对工作台精密快速定位的方法。设计了一套对电机与压电陶瓷进行驱动控制和光栅信号进行处理的电路,并结合实际正交衍射光栅的刻线精度,计算了工作台位置检测的有效分辨率。最后,分析了当前几种典型压电陶瓷驱动电路的特点,提出选用直流放大电源的方式作为本系统高压驱动方法,并给出了高压驱动电路图。

摘要：本文介绍了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有良好的静动态特性。通过音圈电机以两次精确找焦的方法来确定焦点的位置,同时配合数字伺服控制方法并对于不同的材料表面及在有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理,能使得该传感器能够精确快速找到焦点。