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气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计: 收藏
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引用; 《传感器与微系统》2011年第10期30卷 120-122页; 作者：苏雷龙蒋书波程明霄何野徐波李晟南京工业大学自动化与电气工程学院精密仪器研究所江苏南京211816 南京工业大学高技术研究院江苏南京211816 江苏英特神斯科技有限公司江苏南京211816; 根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观...; 根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中,对于气体检测是可行的,并且能够使仪器做到便携式。; 来源：详细信息评论

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