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检索条件"机构=南开大学信息学院微电子学系"

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微机械加工中恒温腐蚀系统的设计研究: 收藏
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引用; 《南开大学学报（自然科学版）》2003年第3期36卷 86-89,104页; 作者：罗伟栋牛文成张福海那兴波南开大学信息学院微电子学系天津300071; 本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的...; 本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.; 来源：详细信息评论

用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统: 收藏
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引用; 《传感技术学报》2002年第3期15卷 189-192页; 作者：罗伟栋牛文成张福海那兴波南开大学信息学院微电子学系天津300071; 本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在...; 本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度 .; 来源：详细信息评论

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