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检索条件"机构=南开大学物理科学学院和泰达应用物理学院"
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6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
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《物理学报》2013年 第6期62卷 416-420页
作者：云志强 魏汝省 李威 罗维维 吴强 徐现刚 张心正南开大学物理科学学院和泰达应用物理学院弱光非线性光子学教育部重点实验室天津300457 山东大学晶体材料国家重点实验室济南250100 
利用飞秒激光直写微纳加工平台,对6H-SiC材料进行了突破衍射极限的微纳结构加工研究.使用中心波长和脉宽分别为800nm和130fs的钛蓝宝石激光器和荧光倒置显微镜搭建了飞秒激光直写微纳加工平台,研究了在不同的实验条件下对6H-SiC的光学...
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