摘要：设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源,用于非色散红外吸收光谱气体传感器。MEMS红外光源以硅(Si)为基底,铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元,采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性。光源采用三梁固支悬浮薄膜结构,有效地降低了辐射区热量向基底的传导。红外光源采用预释放的工艺方法,解决了Si基释放不完全导致的热传导过大的问题。在玻璃衬底淀积铜作为反射层,并与Si结构层进行阳极键合,使红外光有效地向正面发射并通过悬膜射出,提高红外光利用率。设计的MEMS红外光源结构简单,具有良好的可靠性,易于规模化制造。

摘要：为了实现对脑颅手术后脑组织液渗出压力的监测,以压阻效应为基础和提高灵敏度、线性度为目标,提出了一种四短梁扇形膜结构的压力传感器。通过改进膜结构使得应力分布集中,较大提高了传感器灵敏度。通过对传感器数学模型的理论计算,根据敏感膜结构设计的线性原则和可靠性原则,确定膜厚。采用ANSYS损件进行有限元仿真,分析了影响应力、挠度变化的参数并进行优化。在设计量程内和全范围过压1.125倍进行仿真,传感器灵敏度达到3.164 mV/kPa,可对颅压的变化做出迅速响应,有望用于临床颅压监测。