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检索条件"机构=国防科技大学薄膜电子技术研究所"
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高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术
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《真空》2001年 第2期38卷 36-38页
作者：胡云慧 李京增 余圣发 彭晶 苏丹丹 彭传才 李伟 蒋力 刘婧国防科技大学薄膜电子技术研究所湖南长沙410073 湖南三才光电信息材料有限公司湖南长沙410015 
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
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