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检索条件"机构=多晶硅制备技术国家工程实验室"
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二氯二氢硅的安全生产
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《化工设计通讯》2020年 第8期46卷 167-168页
作者:李云昊 赵国伟 郭树虎 赵宇 常欣 赵雄洛阳中硅高科技有限公司河南洛阳471023 多晶硅制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 中国恩菲工程技术有限公司北京100038 
二氯二氢硅在半导体行业有广泛的应用,是一种重要的电子级硅基原料,但是二氯二氢硅在生产、充装、仓储、运输、使用的过程中有较大的安全风险。重点介绍了二氯二氢硅用途前景以及在制造前期和制造过程中所面临的安全问题,从工艺设计、...
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三氯氢硅的安全生产
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《化工设计通讯》2020年 第12期46卷 150-151页
作者:赵雄 赵国伟 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华中国恩菲工程技术有限公司北京100038 洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 
三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料,而高纯度的三氯氢硅是重要的硅外延片用电子特气,是制造电子元器件精密加工从而推动信息化和工业化深度融合的关键基础原材料。但三氯氢硅在空气中极易燃烧,其生产、检测、充装、仓储以及运输过程中都...
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硅基电子气体的安全生产
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《化工设计通讯》2021年 第2期47卷 126-127页
作者:任传宗 武晓闯 郭树虎 赵宇 常欣 赵雄 万烨洛阳中硅高科技有限公司河南洛阳471023 多晶硅制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 中国恩菲工程技术有限公司北京100038 
硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子气体的生产制备设备及工艺,分析系统不同阶段下的风险隐患,针...
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四氯化硅的安全生产
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《化工设计通讯》2020年 第11期46卷 140-141页
作者:赵雄 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华 张兴毅中国恩菲工程技术有限公司北京100038 洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 
随着光伏与集成电路产业的高速发展,多晶硅的需求量日益增加。四氯化硅是采用西门子法生产多晶硅过程中的大量副产物,其工业用途广泛。在四氯化硅生产、储存、运输过程中,安全事故屡见不鲜,危及自然环境与人身安全。简单介绍了四氯化硅...
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