摘要：应用射频磁控溅射工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备具有钙钛矿结构的PZT铁电薄膜。对影响PZT薄膜性能、形貌的工作气压、基片温度、氧/氩+氧之比、溅射功率、退火温度5个主要因素进行分析,在其允许范围和精度内设置5个水平,并根据均匀设计理论对该5因素及5水平进行均匀设计。不同温度下退火之后测定了PZT薄膜的厚度、SEM表面形貌、电容、介电损耗、电滞回线(包括矫顽场强、饱和极化强度、剩余极化强度)等。最后对响应结果进行多元二次线性回归,得出了回归方程。探讨达到最优化薄膜特性所需要的工艺条件。

摘要：智能控制在现代生活中变得越来越重要。本文介绍了一种多传感器智能监控系统,该系统中各节点利用MSP430d单片机采集相关传感器信息,并通过无线收发芯片CC1020和CAN(控制局域网络)通讯模块将相关数据发送到主控单片机,主控单片机将数据通过以太网模块发送至网络服务器上,可实现远程监控。同时,主控平台可通过上述数据通路给单片机发送命令,控制步进电机完成相应的控制动作。