摘要：光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。

摘要：为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度,研制了抗CO_(2)气体辐射的负滤光片,在非球面单晶Si基板表面,选择Ge、ZnS和YbF_(3)作为镀膜材料,结合膜系设计基础理论,使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计,石英晶体膜厚控制仪进行厚度监控。根据实验结果及膜层敏感度反演分析,优化膜厚监控方案解决了负滤光膜通带次峰过多及透射率下降等问题。测试结果表明,制备的负滤光片在4.15~4.4μm、5.15~5.5μm波段平均透射率分别为0.87%和0.23%;3.65~3.95μm、4.50~4.85μm波段平均透射率分别为87.04%和89.79%。研制的负滤光片有效提高了目标的探测精度,为中红外探测技术提供了重要的技术支持。

摘要：根据278 nm激光系统的技术要求,研制了一种倍频分离膜,用于二倍频激光和四倍频激光的分离。实验以牌号为JGS1的石英玻璃作为基底,结合激光损伤热效应机理及材料的本征吸收,选择金属铪和UV-SiO2作为薄膜材料。利用Macleod膜系设计软件分析电场强度分布随膜系周期的变化规律,依据薄膜设计理论和激光损伤场效应机理,完成了倍频分离膜的设计。采用X射线光电子能谱仪、分光光度计和ZYGO干涉仪表征了薄膜的化学成分、光学性能和表面粗糙度。对实验结果进行对比分析,优化薄膜的生长工艺,减小了外因吸收。测试结果表明,当入射角为45°时,278 nm波长处的透过率为98.82%,556 nm波长处的反射率为99.80%,在40°~50°宽入射角范围内,光谱性能均可达到技术指标,激光损伤阈值为12.53 J/cm2,满足使用要求。