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一种扩散硅压力变送器的设计: 收藏
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引用; 《中国计量》2023年第4期 55-58页; 作者：胡永良郑永富太原太航德克森自控工程股份有限公司; 扩散硅压力变送器的测压传感器是由半导体硅材料组成,其最大特点就是温度特性。当温度改变时,与压力成比例的输出信号会有较大变化,由此造成较大的测量误差。实验证实,在相同条件下,温度变化1℃,会有0.1%的误差。压力输出受温度变化的...; 扩散硅压力变送器的测压传感器是由半导体硅材料组成,其最大特点就是温度特性。当温度改变时,与压力成比例的输出信号会有较大变化,由此造成较大的测量误差。实验证实,在相同条件下,温度变化1℃,会有0.1%的误差。压力输出受温度变化的影响是扩散硅传感器面临的技术难点,文章通过采用线性插值法的温度修正方式,设计了一款高准确度的扩散硅压力变送器。; 来源：详细信息评论

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