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抗高过载微压传感器
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《传感器技术》2001年 第4期20卷 48-51页
作者：尹颢 杨恒 王文襄 沈绍群 鲍敏杭复旦大学电子工程系传感器研究室上海200433 宝鸡秦岭晶体管厂陕西宝鸡721001 
在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ...
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