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深亚微米集成电路制造工艺设计与仿真系统TSUPREM发展与现状
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《电子元件与材料》2001年 第4期20卷 33-34页
作者：邢爱堂 靳梅 王冬青 陈景标山东大学南校区电子工程系山东济南250061 山东大学学术交流中心山东济南250061 山东省烟草局信息科研中心山东济南250100 北京大学电子学系北京100871 
结合集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM的发展历史，回顾了集成电路工艺仿真技术的发展，并着重介绍了Avanti公司的深亚微米工艺仿真系统TSUPREM-4 1999.4。
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