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检索条件"机构=山东工业大学电机工程系"
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非高斯束多功能电子束曝光机的电子光柱体设计
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《山东工业大学学报》1989年 第2期19卷 23-27页
作者：吴亚军 王建琨山东工业大学电机工程系 
讨论目前电子束曝光机的基本结构和复合聚焦偏转系统的基本原理,并根据这一原理对已有的复合系统如MOL,VAL,PFDS等进行了研究。推导了双通道复合系统的象差公式,提出了设计广义变轴复合系统的方法。对其构成方式进行了讨论,具体设计出...
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