摘要：1 引言围绕着半导体芯片的制造、设计、封装、测试以及相关支撑作用的材料设备等方面的技术是信息产业的基础--半导体技术。自从1965年Gordon Moore 提出著名的"摩尔定律"以来,世界半导体产业的发展遵循着这条规律,规律预示着半导体技术领域充满着剧烈的竞争与拼杀。最近Moore本人指出至少在近十年内还不会违背此规律。

摘要：本文论述了由不平衡离心惯性力引起甩干机旋转架受迫振动，并提出了设计中如何采取相应解决措施。

摘要：本文介绍了利用低压,大电流变压器、采用可控硅交流调压技术对硅管炉生产过程中的加热功率进行自动控制的方法.较详细叙述了电气系统的设计及主要元器件的选型,并对设备使用过程中的问题进行了讨论,利用这一装置生产出的硅管已通过四川省科委鉴定,填补了国内空白.

摘要：传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应.此法中,约有15～20%的副产物四氯化硅产生,存在原料消耗高,产品成本高.新工艺应用化学平衡的原理,适当加入部分的四氯化硅,可抑制四氯化硅生成,吸收氯化氢中的微量水份,从而提高三氯氢硅的转化率,降低硅粉单耗,减少设备腐蚀,提高设备寿命.本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨,分析传统工艺之不足,以期能对现有生产和技术改造工作有所指导.