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声表面波温度传感器的仿真与设计
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《压电与声光》2014年 第1期36卷 8-11页
作者：吴展翔 刘文 卢小荣华中科技大学武汉光电国家实验室湖北武汉430074 常州智梭传感科技有限公司江苏常州213164 
利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响...
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