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基于双层静电极的差动式电容力矩传感器
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《组合机床与自动化加工技术》2019年 第1期 64-67页
作者:陈琳 莫超亮 罗国树 林志 罗年景 潘海鸿广西大学机械工程学院南宁530004 广西制造系统与先进制造技术重点实验室南宁530004 广西大学工程实训中心南宁530004 
力矩传感器在机器人关节实时力矩监测中起着重要作用,为提高电容力矩传感器灵敏度,提出一种双层静电极差动式电容力矩传感器。利用PCB板表面的双层静电极与悬臂梁动电极垂直分布构成的电容器作为力敏元件,将由梯形梁变形引起的电容变化...
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