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直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用
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《人工晶体学报》2011年 第1期40卷 75-82页
作者:张湘辉 汪灵 龙剑平成都理工大学材料与化学化工学院成都610059 成都理工大学金刚石薄膜实验室成都610059 
基于直流弧光放电PCVD金刚石薄膜沉积设备的特点,设计开发了基底自动控温系统。将该系统应用于金刚石薄膜的制备中,并采用SEM、Raman光谱等测试方法对所制备的薄膜的形貌、品质进行了表征。结果证明该系统具有较好的稳定性,其应用时所...
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