摘要：新一代集成电路工艺要求晶圆越来越薄,其后处理加工的难度增大.通过各单元模块化的结构设计,有效地将晶圆的“清洗—干燥—检测”3种后处理技术集成起来,整体工艺处理流程时间平均缩短了47.5%.通过改进异丙醇雾化法,有效地提高晶圆干燥的效率,相较于传统的干燥方式,每片晶圆有效面积内残留水痕面积减少38.4%,检测正确率达到99.12%,实验结果验证该装置集成方式对于晶圆后处理工艺优化的优越性.

摘要：针对渐开线直齿圆柱齿轮啮合时的弹性变形,采用了材料力学中的悬臂梁模型和赫兹接触应力理论的计算方法对齿轮啮合后在单位力作用下的轮齿的弯曲变形量与接触变形量进行了计算,并找出了该变形量与基节的关系。最后用有限元方法对轮齿的弯曲变形与接触变形及其对基节的影响进行了有效的验证。

摘要：在分析传统教学与问题式学习PBL(problem-based learning)教学各自利弊的基础上,将PBL教学法引入工科研究生有限元分析课程教学.通过改革课程体系和创新评价体系,整合知识结构,进行问题设计,分步具体实施.优化了教学内容,加强了研究生自学能力及科学研究能力的培养,激发了学生的想象力和创造力.同时,对教学内容与课时数的矛盾,理论教学和工程应用的矛盾以及有限师资和众多学生的矛盾等PBL教学中难点问题的处理,作了初步的探索.

摘要：阐述了一种基于Pro/E软件的通用功能模块和扩展级进模(PDX)模块进行冲压件及其级进模设计的数字化设计技术;从工件的准备、条带的设计、模架和冲压元件设计、标准件及其他设备的设计、元件的数控加工及装配工程图的生成等方面说明这一技术的应用流程;结合防护扣级进模设计,从毛坯尺寸确定、排样、压力计算、模具的尺寸和结构形式、压力机选择等方面验证了这一技术的可行性。实践表明,该技术缩短了模具设计周期、提高了冲压件的尺寸精度和生产效率,是级进模设计行之有效的方法。

摘要：就新型液压伺服关节中内置伺服阀芯阻力矩问题进行了探讨。在理论分析的基础上,建立了伺服阀芯阻力矩测试的实验系统,应用支反力法测得了实验数据,并对测试结果进行了比较分析,得出了摩擦阻力矩与系统压力的关系曲线,为选择合适的步进电机,进而进行结构设计打下了基础。

摘要：通过对蠕虫躯体结构及爬行机理的分析,提出了一种蠕动爬行机器人的总体方案。该机器人利用滚动摩阻小于滑动摩擦的原理,采用弹性储能和单向轮反向制动实现蠕动爬行、转向和抬头等。首先设计了控制体节、伸缩体节和单向轮系,然后对重要零部件进行了选择及分析计算,制造了实验样机,最后通过实验验证了蠕动爬行机器人总体方案的正确性和可行性。

摘要：针对以获得螺栓预紧效果为目标的螺栓有限元仿真问题,提出一种基于ANSYS的简单可靠易行的模拟盲孔螺栓联接有限元仿真的方法。该方法采用节点耦合来模拟螺纹幅的联接作用,并通过ANSYS自带的预紧单元在螺栓中施加预紧力来实现螺栓的预紧效果。有限元和理论计算结果表明,最大应力发生在螺纹第一牙的位置,第一牙约承受30%的载荷,应力的分布与用真实螺纹联接一致。

摘要：简要论述了渐开线弧齿圆柱齿轮的主要几何参数,从其齿面方程出发,分析渐开线弧齿圆柱齿轮副齿面接触线与啮合重合度。在此基础上推导出渐开线弧齿圆柱齿轮副齿面接触应力计算公式,并通过有限元分析软件比较直齿、斜齿、弧齿齿轮副齿面接触应力。与直齿、斜齿齿轮副相比弧齿齿轮副具有更低的齿面接触应力、更好的传动特性。

摘要：简要论述了渐开线弧齿圆柱齿轮的主要几何参数,并对其重合度以及接触线进行了分析,在此基础上提出了渐开线弧齿圆柱齿轮副齿根弯曲应力的计算方法。通过三维软件对渐开线弧齿圆柱齿轮进行三维造型,分析了不同周向模数和不同弧齿线半径对弧齿圆柱齿轮的齿根应力的影响。弧齿圆柱齿轮齿根应力与弧齿线半径有明显的关系,比直齿圆柱齿轮具有优越性。

摘要：经典PID或者结合其他算法的参数自整定PID是主动磁悬浮轴承最常用的控制方法,其方法简单且有一定的控制效果,但当外界出现干扰或者负载变化大时表现一般。针对此情况提出一种新的磁悬浮轴承控制方法——协同控制,适用于非线性、强耦合的系统,而且算法简单,易实现数字控制,设计出的控制器具有抗扰动鲁棒性强和稳态性好等优点,因此基于协同理论设计了单自由度主动磁悬浮轴承的协同控制器,并与经典PID控制器进行仿真与实验对比分析,结果验证协同控制器是适用于单自由度主动磁悬浮轴承的一种先进控制器。