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电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究
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《传感技术学报》2015年 第8期28卷 1120-1124页
作者：刘骏文 徐大诚 陈巧 丁金玲 谢会开苏州大学电子信息学院江苏苏州215000 无锡微奥科技有限公司江苏无锡214000 美国佛罗里达大学电气与计算机工程系美国佛罗里达州32611 
随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确...
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